
普达特科技(00650)发布公告,公司已从一个客户处得回一台半导体高温硫酸清洗(高温SPM)劝诱(该劝诱)的样机订单。该劝诱现在已处于拼装与测试阶段,前期已通过客户的多项工艺性能测试与马拉松测试,部分盘算达到国际杰出水平,显耀鼓动了国产高温SPM清洗劝诱冲突国际把持的程度。该样机订单的收入暂未证实。据董事经作出一切合理查询后所深知、尽悉及敬佩,于本公告日历,该客户相等最终实益领有东谈主为独处于公司相等关系东谈主士的第三方。
该劝诱给与高温SPM清洗工艺,可障翳12英寸晶圆要道制程的PR-strip、Post CMP、NiPt remove等多种期骗,是业界公认的高难度湿法工艺,市集现在由国际劝诱供应商把持。公司研发的该劝诱,具备国内杰出、国际一流的高温截止智力,可障翳至190°C的高温SPM工艺,经马拉松考据,结尾工艺腔体高温硫酸温控领域±2°C,优于主要国际供应商的±5°C。该劝诱通过NiPt remove工艺demo测试,在高挑战性的工况下取得了与国际基准产物对皆的测试收尾。该劝诱在假想方面,给与了化学供液系统与工艺腔室集成化的假想,保证了更大的工艺兼容性与纯确切期骗成立,可为客户提供更具概述竞争力与性价比的搞定有盘算。
下一阶段,公司将勤快于完成该劝诱的委用与考据,并扩大客户在高端期骗规模对集团的劝诱的给与,充分推崇公司技能团队在半导体湿法技能方面的上风,搞定行业痛点,晋升客户成果,链接推动高端半导体劝诱国产化。

连累剪辑:卢昱君